首页 > 产品与服务> 先进材料 > 高纯材料 > 磷烷
高纯材料
磷烷
CAS NO. 7803-51-2
化学式   PH3 
分子量   34.0 
纯度   6N 
包装规格   47L 钢瓶装(可根据客户要求提供其他规格) 
用途   磷烷是半导体器件制造中的重要N型掺杂源,同时磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延GaP材料、离子注人工艺、MOCVD工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。